高纯硅的制备与硅烷法
高纯硅的制备硅在地壳中的含量为 27%,主要来源是石英砂(SiO2)和硅酸盐(Na2SiO3) 。1.2.1 粗硅的制备方法:石英砂与焦炭在碳电极的电弧炉中还原,可制得纯度为 97%的硅,称为“粗硅”
高纯硅的制备与硅烷法