应用离子束修正大面形误差光学元件

应用离子束修正大面形误差光学元件引言：随着光学技术的进步，在光学领域的应用日益广泛。而光学元件作为光学系统的重要组成部分，其表面精度决定了光束的传输和成像效果，因此其表面反射率和散射率等参数必须控制在