[高等教育]8_扩展电阻法测硅片微区电阻率变化

实验八 扩展电阻法测硅片微区电阻率变化扩展电阻探针法用于定量测量某些半导体材料的局部点导率，空间分辨率高测量取样体积为10-10cm3左右，测量重复精度优于1%。将硅片磨角后用扩展电阻法可以测量分辨