MEMS催化燃烧式气体传感器研究的任务书

MEMS催化燃烧式气体传感器研究的任务书任务书题目：MEMS催化燃烧式气体传感器研究背景：气体传感器是一种用于检测气体成分及其浓度的装置，其在环境监测、工业安全等领域有着广泛的应用。传统的气体传感器一

MEMS 催化燃烧式气体传感器研究的任务书 任务书 MEMS 题目：催化燃烧式气体传感器研究 背景： 气体传感器是一种用于检测气体成分及其浓度的装置，其在环境监 测、工业安全等领域有着广泛的应用。传统的气体传感器一般采用电化 学、红外等原理进行检测，但这些传感器通常存在响应速度慢、灵敏度 MEMS 低、准确度差等局限，而技术则可以在不改变传统传感器测量原 理的基础上，通过微加工技术实现传感器的微型化、集成化、智能化等 优化，从而提高其检测性能和成本效益。 任务： MEMS 本次研究旨在基于技术开发一种催化燃烧式气体传感器。具 体任务包括： 1. 研究催化燃烧式气体传感器的原理及特性，分析其优缺点，并与 传统气体传感器进行对比。 2. 设计、模拟及优化传感器内部结构，优化传感器灵敏度、响应速 度和线性度等性能指标。 3. 制备传感器样品并进行实验室测试，评估其检测性能及应用前 景。 4. 研究传感器集成化、微型化及智能化等技术手段，提高其成本效 益和应用范围。 5. 撰写毕业论文并完成答辩。 计划： 本次研究计划历时两年，其中第一年主要进行文献调研、传感器原