碳碳复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究

碳碳复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究　　碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究　　摘要：本文介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异。通过在单晶