蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究任务书

蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究任务书任务书一、任务背景蓝宝石衬底基片是现代电子元器件制造过程中的重要材料之一，其制造工艺和性能表现直接关系到元器件的质量和可靠性。目前，蓝宝石衬底基片的CMP（