甚高频容性耦合等离子体中电磁效应的数值研究

甚高频容性耦合等离子体中电磁效应的数值研究电磁效应在等离子体中是一个非常重要的研究对象，其对等离子体性质和特性的影响不可忽视。甚高频容性耦合等离子体（radiofrequency capacitive