纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究

纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究一、绪论随着科学技术的发展，对材料、能源、生物等方面的研究也日益深入。这些方面的研究，要求我们能够进行精确、快速和准确的实验，这就对实验设备提出了更高要求。工作