低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的标准方法

ICS中华人民共和国国家标准GB/T xxxx—xxxx低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的标准方法Test method for low temperature FT-IR