扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施 扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下（同时参见表15）：(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结果，则可能是系统设计不合理，有效