上虞晶盛单晶炉操作说明书

第一章单晶生长条件设施要求运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子出入水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵出入水压差要求公斤以上；炉子进水压力不