MEMS工艺半导体工艺扬卫-PPT课件

- MEMS工艺(3半导体工艺)扬卫 - 主要内容 - 掺杂技术、退火技术表面薄膜制造技术光刻技术金属化技术刻蚀技术净化与清洗接触与互连键合、装配和