电镜实验课

扫描电镜结构、原理及试样观察一、实验目的1.  结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理；2. 掌握扫描电镜的制样方法；3.  选用亚共析钢，利用二次电子探头对表面形貌进行观察。二﹑实验原理1. 扫

扫描电镜结构、原理及试样观察 一、实验目的 1. 结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理； 2. 掌握扫描电镜的制样方法； 3. 选用亚共析钢，利用二次电子探头对表面形貌进行观察。 ﹑ 二实验原理 1. 扫描电镜工作原理 扫描电镜工作原理是：从电子枪阴极发出的电子束，经聚光镜及物镜会聚成极细的电子 束，在扫描线圈的作用下，电子束在样品表面进行扫描，激发出二次电子和背散射电子等信 号，被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显像管上形成衬度图象。 2. 扫描电镜的构造 扫描电镜主要由电子光学系统、扫描系统、信号探测放大系统、图像显示和记录系统、 1 真空系统、电源系统等部分组成。图为扫描电镜结构图。 1 图扫描电镜结构图 G— CL —OL —SC — 电子枪；聚光镜；物镜；扫描线圈； (1) 电子光学系统主要包括电子枪、聚光镜、物镜光阑等。在扫描电镜中，高能电子 X 束入射到固体样品，所发射的信号强度（二次电子、背散射电子和射线等）取决于入射 电子束流的大小，而对于被测信号而言，仪器的最佳分辨率又取决于到达样品的最终束斑尺 寸。因此扫描电镜的电子光学系统要保证在尽可能小的束斑尺寸下能获得最大的束流，而且