区熔法(word文档良心出品)
区熔法制备单晶硅摘要:利用区熔法制备单晶硅。区熔法是利用热能在半导体棒料的一端产生一熔区,再熔接单晶籽晶。调节温度使熔区缓慢地向棒的另一端移动,通过整根棒料,生长成一根单晶,晶向与籽晶的相同。区熔法又