扩散硅压力传感器性能优化研究

扩散硅压力传感器性能优化研究扩散硅压力传感器性能优化研究摘 要扩散硅压力传感器在工业自动化系统中具有广泛的应用。然而，传感器的性能优化一直是研究的热点和难点。本文在对扩散硅压力传感器的原理和特点