sentaurus tcad基本流程

总体仿真流程概括： SPROCESS 模拟工艺步骤，比如光刻、离子注入、退火等，进而得到一个含有材料、边界、掺杂信息的文件 SDE 读取 SPROCESS 的输出文件，利用图形化界面打开，再对结构