Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 106282943 A(43)申请公布日 2017.01.04(21)申请号 201610752565 .4(22)申