专用集成电路设计实践西电版第6章ASIC测试技术概述教案

- 6.1　常用测试设备及仪器简介6.1.1　探针台　　半导体生产过程中的探测大约分为三大类:  (1) 参数探测: 提供制造期间的装置特性测量。 