基于Minitab磷扩结深一致性和均匀性数据分析及优化

摘 要N 型衬底扩散工艺是目前衬底制备中的常用工艺，被广泛应用于三极管、MOS 管等分立器件的加工工艺中。本文主要就车间 N 型衬底扩散工艺中，长期存在的生产周期长，一致性、重复性差，质量水平低等一系