薄膜衬底系统表面褶皱现象——建模，分析及数值模拟的任务书

薄膜衬底系统表面褶皱现象——建模，分析及数值模拟的任务书一、题目薄膜衬底系统表面褶皱现象——建模，分析及数值模拟二、任务背景薄膜技术已成为现代工业和科技中不可或缺的技术手段，广泛应用于光电子、半导体、

—— 薄膜衬底系统表面褶皱现象建模，分析及数值模 拟的任务书 一、题目 薄膜衬底系统表面褶皱现象——建模，分析及数值模拟 二、任务背景 薄膜技术已成为现代工业和科技中不可或缺的技术手段，广泛应用 于光电子、半导体、医药等领域中。薄膜的制备过程中，经常会出现表 面褶皱现象，影响薄膜制备的质量和性能。因此，建立表面褶皱的理论 模型并进行数值模拟和分析，对于预估薄膜制备质量、优化制备工艺以 及提高薄膜质量具有重要意义。 三、任务要求 1.就表面褶皱现象进行必要的文献调研，了解薄膜制备中的常见褶 皱现象及成因； 2.根据膜衬底系统的几何形状及材料参数，建立表面褶皱的理论模 型； 3.对所建立的理论模型进行数值模拟，分析薄膜中表面褶皱的分布 规律，并探究薄膜制备过程中可能产生表面褶皱的因素； 4.分析薄膜的应力分布，探究表面褶皱对膜的性能的影响； 5.能够撰写一份包含完整任务过程及分析结果的报告，清晰地表述 该项研究的目的、方法和结论，简洁明了、逻辑完整。 四、参考文献 [1]ChenW,SunC,HuangZ.Areviewonthegrowthof grapheneonCuusingchemicalvapordeposition[J].Journalof MaterialsScience&Technology,2016,32(7):589-598.