真空退火炉工安全技术操作规程

真空退火炉工安全技术操作规程6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于0.133Pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度