mhvAAA离子注入实验报告
离子注入实验报告材料科学与工程 1 实验目的:(1)了解离子注入原理,掌握注入完成后的退火仪器原理及操作。(2)学会在样品上制作欧姆接触,四探针法测量样品退火前后的薄层电阻;用热电笔法测量退火前后样