冷阴极电离真空规中离子能量的分析

冷阴极电离真空规中离子能量的分析冷阴极电离真空规是一种常见的真空计，其工作原理是通过金属冷阴极电子轰击气体分子或原子，使其发生电离产生离子，并通过静电力将离子向阳极引导，测量得到的电流信号来计算所处气