重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

ICSiICS 前 言本标准是对GB/T 14847-93《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》的修订。本标准与原标准