用离子束辅助淀积多层薄膜技术合成Co－Si化合物薄膜的研究

用离子束辅助淀积多层薄膜技术合成Co－Si化合物薄膜的研究随着微电子技术的迅速发展，材料科学与技术不断探索新的材料制备技术。离子束辅助淀积技术是一种重要的多层膜制备技术，具有高精度、高质量、可控性强等