磁控溅射操作流程及注意事项

磁控溅射操作流程及注意事项磁控溅射操作流程及注意事项一、打开冷却水箱电源（注：水箱电源是设备的总电源。）检查水压是否足够大（0.1MPa），水压控制器是否起作用。二、放气2.1 确认磁控溅射室内部温度