基于铜氨络合物制备铜薄膜的工艺研究的开题报告

基于铜氨络合物制备铜薄膜的工艺研究的开题报告一、选题背景铜薄膜在微电子、光电子、材料科学等领域有着广泛的应用，制备高品质的铜薄膜是实现这些应用的关键。传统的铜薄膜制备方法包括物理气相沉积和化学气相沉积