关于平面研磨精度问题的基础研究

关于平面研磨精度问题的基础研究平面研磨精度是指在工程制造中对平面表面进行加工和研磨时，所要求的表面粗糙度和平面度的要求。随着微电子、光电子、精密仪器等行业的快速发展，对平面研磨精度的要求也越来越高。本