柔性铰链及压电驱动柔性铰链机构传动实现超精密定位

- 柔性铰链及柔性铰链机构超精密定位 - - 柔性铰链的概念 - 一般描述为：在两部分刚体之间薄弱的柔顺机构，通常可以实现两