薄膜物理2蒸发源的类型课件

- 蒸发源的类型 - 二、电子束蒸发源 - 电阻加热蒸发源缺点(1) 来自加热装置、坩埚等可能造成的污染(2) 电阻加热法的加热功率或加热温度也有一定的限制