采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜

采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜标题：采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜摘要：氧化亚铜是一种重要的半导体材料，具有广泛的应用潜力，如光电器件、传感器等。本论文采用化学气相沉积（CVD）方法制