表面粗糙度测量原理和方法综述

表面粗糙度测量原理和方法综述摘要:表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数，表面粗糙度测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。综述了接触式和非接触式两类测量方法，着重介绍了非

表面粗糙度测量原理和方法综述 摘要 : 表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数，表面粗 糙度测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。综述了接触式和非 接触式两类测量方法，着重介绍了非接触式测量中的几种测量方法的测量原理及 其优缺点。 关键词 :;; 表面粗糙度接触式测量非接触式测量 Survey of measurement methods for surface roughness Abstract Surface roughness is an important parameter to reflect the micro-geometry in machine process and also an important part of modern precise measurement technique Contact measurement and non contact measurement was summarized in this paper, and the advantages and disadvantages are discussed .Some ideas about its trend are given in the end. Keywords surface roughness contact measurement non contact measurement 1 引言 表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最常用的参数，它反映的是机械 零件表面的微观几何形状误差，随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也 70 得到长足进步，特别是年代中后期，随着微电子计算机应用的逐步普及和现 代光学技术、激光应用技术的发展，使粗糙度测量技术在机械加工、光学加工、