半导体制造手册-CHAPTER3半导体硅基片制造

CHAPTER 3 半导体硅衬底制造3.1 简 介 以硅技术为基础的半导体电子产品以指数增长是众所周知的。使得这些技术非凡进展并按摩尔定律发展的一个根本的因素是由于硅独有特性。在本文中将介绍