实验六电容-电压法测量p n结的平均杂质浓度和杂质分布样本
试验六 电容-电压法测量p+n结平均杂质浓度和杂质分布一、试验目标 1. 掌握电容-电压特征测试仪使用 2. 经过测量p+n二极管电容和反向电压关系, 测量硅p+/n外延层杂质浓度随深度分布。
实验六电容-电压法测量p n结的平均杂质浓度和杂质分布样本