用椭圆偏振仪测量薄膜厚度
- 用椭圆偏振仪测量薄膜厚度 - 电科091刘涛 - 教学目的与要求(1)了解薄膜的厚度测量的基本原理。(2)利用椭圆偏振光消光法,测定透明薄膜的厚
用椭圆偏振仪测量薄膜厚度