2021年靶材产业实施方案

靶材产业实施方案 靶材产业实施方案 ——产业投资建设规划 靶材是溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材。是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。 我国相关产业发展的主要任务是贯彻落实科学发