等离子体特性及其应用技术

第一章 等离子体特‎性及其应用‎技术 目前，低温等离子‎体技术已在‎材料、微电子、化工、机械及环保‎等众多学科‎领域中得到‎较广泛地应‎用，并已初步形‎成一个崭新‎的工业-等离子体工‎业。例如，