两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究

两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究引言： 生长氮化铝结构体的成功，需要娴熟的技巧和适当的氮化铝生长过程控制，生长过程控制包括对缓冲层和外延层的生长控制。这种生长方法在硅基材料的N级逆空隙工艺中有