基于体硅工艺的谐振式MEMS差压传感器的研究

基于体硅工艺的谐振式MEMS差压传感器的研究基于体硅工艺的谐振式MEMS差压传感器的研究摘要：谐振式MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）差压传感器是一种基于谐振