用XPS研究快速热退火形成TiSi2的热氧化

用XPS研究快速热退火形成TiSi2的热氧化快速热退火形戚的TiSit经10O—1000?, 20—6O的热氧化行为.TiSI,表面由SiO+TiO,组戚的混合层随着氧化温度的升高或是 氧化时间的延长