亚微米聚焦离子束系统的合轴技术及聚焦检测技术

亚微米聚焦离子束系统的合轴技术及聚焦检测技术亚微米聚焦离子束系统的合轴技术及聚焦检测技术摘要：亚微米聚焦离子束系统已广泛应用于微纳加工、纳米缺陷检测和材料表征等领域。为了实现更高分辨率和更好的聚焦效果