自动化清洗设备解决方案

自动化清洗设备解决方案 Date: 2008.9.12系统介绍: 根据Intel摩尔定律，每18个月晶圆制程将提升一倍，伴随晶圆片的面积不断扩大，其生产工艺与系统稳定性需要同步提升数十倍甚至上百倍，因