MEMS材料力学性能的测试方法研究

MEMS材料力学性能的测试方法研究MEMS（微电子机械系统）是一种由微尺度的机械、电子、光学和生物学组件组成的微米级系统，具有显著的性能优势和广泛的应用前景。在MEMS的设计与制造过程中，理解和评估材