极大规模集成电路制造装备及成套工艺

国家科技重大专项 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2009年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施