MEMS电容传感器信号处理ASIC及研究设计

中国科学技术大学硕士学位论文MEMS电容传感器信号处理ASIC研究与设计姓名：江儒龙申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：孔德义20090501摘要 摘要 基于微机械加工技术的传感器是