半导体工艺离子注入(精)

半导体工艺离子注入离子注入法混淆对照扩散法混淆来说，它的加工温度低、简单制作浅结、均匀的大面积注入杂质、易于自动化等优点。目前，离子注入法已成为超大规模集成电路制造中不能缺少的混淆工艺。离子注入原理离