立式炉安全操作规程

立式炉安全操作规程 1. 目的为DJ-802V型LPCVD立式炉的开关机安全操作以及设备紧急避险提供指导。2. 范围：本规程适用于DJ-802V型LPCVD立式炉安全技术操作。3.