用于微执行器的PZT压电薄膜制备与表征的任务书

用于微执行器的PZT压电薄膜制备与表征的任务书任务书一、任务背景随着微电子器件的不断发展，微执行器已经成为目前非常活跃的研究领域之一，广泛应用于生物医学、航空航天、光学等领域。而在微执行器中，PZT压