超大规模集成电路铜互连电镀工艺

超大规模集成电路铜互连电镀工艺摘要：介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的 原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的 监测技术；脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用；以 及铜互连电镀