半导体工艺化学实验报告

半导体工艺化学实验报告半导体工艺化学实验报告　　实验名称：硅片的清洗　　实验目的：1.熟悉清洗设备　　2.掌握清洗流程以及清洗前预准备　　实验设备：1.半导体兆声清洗机（SFQ-1016T）